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10萬級潔凈區空氣潔凈度要求
10萬級潔凈區標準(按塵粒數目和微生物數目來定義的):
塵粒最大允許數(每立方米):
大或等于0.5微米的粒子數不得超過3500000個,大或等于5微米的粒子數不得超過20000個;
微生物最大允許數:
浮游菌數不得超過500個每立方米:,
沉降菌數不得超過10個每培養皿.
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