粒子計數器可以用于測量潔凈環境單位體積空氣內定的塵埃粒子大小及數目，它是顯微鏡發展而來，經歷了顯微鏡、沉降管、沉降儀、離心沉降儀、顆粒計數器、激光空氣粒子計數器、PCS納米激光空氣粒子計數器的過程，

　　粒子計數可采用激光粒子計數器或凝聚核粒子計數器。粒子計數器，可分析氣體中011μm粒徑的顆粒雜質;可分析0105μm粒徑顆粒雜質，目前已有可檢測超高純氣中01005μm的粒子計數器。粒計數器是一種利用光的散射原理進行塵粒計數的儀器。一定流量的含塵氣體通過一束強光，使粒子發射出散射光，經過聚光透鏡投射到光電倍增管上，將光脈沖變為電脈沖，由脈沖數求得顆粒數。根據粒子散射光的強度與粒徑的函數關系得出粒子直徑。粒子計數器是高純或超高純供氣系統中必不可缺的儀器。價格較昂貴。

　　塵埃粒子計數器的注意事項：

   　1、沒有高壓減壓設備(如高壓擴散器)不要取樣壓縮空氣，所有的粒子計數器被設計用于在一個大氣壓下操作。

　　2、當入口管被蓋住或被堵塞，不要啟動計數儀

　　3、不要測有可能產生反應的混合氣體(如氫氣和氧氣)。這此氣體也可能在計數器內產生爆炸。測這些氣體需與廠家聯系為取得更多的信息。