潔凈室等級標準和國際標準ISO14644一樣,都是根據(jù)懸浮粒子濃度這個唯一指標來劃分潔凈室（區(qū)）及相關受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級，并且僅考慮粒徑限值（低限）在0.1um～5.0um范圍內呈累積分布的粒子群。根據(jù)粒子徑，可以劃分為常規(guī)粒子（0.1um～5.0um）、超微粒子（＜0.1um）和宏粒子（＞5.0um）。
一、潔凈室的空氣潔凈度，應進行下列測試：
空態(tài)測試：潔凈室已竣工，凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)已處于正常運行狀態(tài)，室內沒有工藝設備和生產人員的情況下進行測試；靜態(tài)測試：潔凈室凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)已處于正常運行狀態(tài)，工藝設備已安裝，室內沒有生產人員的情況下進行測試；動態(tài)測試潔凈室已處于正常生產狀態(tài)下進行測試，潔凈室的風量、風速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測，可按一般通用、空氣調節(jié)的有關規(guī)定執(zhí)行。
二、空態(tài)、靜態(tài)測試
檢測前，應對潔凈室及其凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)進行徹底清潔。采用光散射粒子計數(shù)器對高效空氣過濾器進行檢漏測試。首先測定高效空氣過濾器的上風側靜壓箱內(或風管內)粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數(shù)應為大于或等于30，000粒/升。如若不夠，可引入煙霧，然后開始檢漏。將粒子計數(shù)器(或檢漏裝置)的采樣口距離高效空氣過濾器2--3厘米處，可以2～4厘米/秒的速度移動，對高效空氣過濾器整個斷面封頭膠處和安裝框架處進行掃描。當粒子計數(shù)器讀數(shù)為空氣口大于或等于0.5微米的塵粒超過3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即認為該處有明顯滲漏，必須進行堵漏。
測試內容：總送風量、總回風量、新鮮空氣量、排風量等;潔凈室壓力值;層流潔凈室斷面風速和氣流流向;潔凈工作區(qū)的潔凈度;室內溫度、濕度及其控制能力的調整測試;潔凈室內噪聲。
潔凈工作區(qū)空氣潔凈度的測試方法對于粒徑大于或等于0.5微米的塵粒計數(shù)，宜采用光散射粒子計數(shù)法。對于粒徑大于或等于5微米的塵粒計數(shù)。也可采用濾膜顯微鏡計數(shù)法。
三、動態(tài)測試。在潔凈工作區(qū)操作位置選擇有代表性測點的氣流上風向進行，測試方法同空態(tài)、靜態(tài)測試。
等級標準對照表
|
空氣潔凈度等級
|
大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(pc/m)
|
|||||
|
0.1um
|
0.2um
|
0.3um
|
0.5um
|
1um
|
5um
|
|
|
1
|
10
|
2
|
|
|
|
|
|
2
|
100
|
24
|
10
|
4
|
|
|
|
3
|
1000
|
237
|
102
|
35
|
8
|
|
|
|
10000
|
2370
|
1020
|
352
|
83
|
|
|
5（百級）
|
100000
|
23700
|
10200
|
3520
|
832
|
29
|
|
6（千級）
|
1000000
|
237000
|
102000
|
35200
|
8320
|
293
|
|
7（萬級）
|
|
|
|
352000
|
83200
|
2930
|
|
8（十萬級）
|
|
|
|
3520000
|
832000
|
29300
|
|
9（一百萬級）
|
|
|
|
35200000
|
8320000
|
293000
|